什么是XPS分峰拟合 X射线光电子能谱(XPS)是一种表征材料表面化学成分和电子状态的分析技术。XPS分峰拟合是对XPS谱线进行拟合，以确定样品表面的元素种类和相对含量。在XPS分峰拟合过程中，半峰宽是一个重要的参数。 半峰宽的定义 半峰宽是谱线在峰值处的宽度，通常用高度的一半来定义。在XPS分峰拟合中，半峰宽是指谱线在半峰高处的宽度。半峰宽的大小与仪器分辨率、样品表面形貌和元素化学状态等因素有关。 半峰宽的影响 半峰宽的大小直接影响到XPS分峰拟合的精度和准确性。如果半峰宽过大，会导致谱线峰